Электроника. Диссертация Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумных систем и эксплуатационных характеристик промышленного оборудования тонкопленочных технологий : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, Москва, 2003