430277
Лазерная генерация структурных дефектов и твердофазное разрушение поверхности кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.03
2003, Шатура
Электроника. Диссертация Лазерная генерация структурных дефектов и твердофазное разрушение поверхности кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.03, Шатура, 2003