Электроника. Диссертация Исследование и разработка материалов пленочных сорбентов и структур интегральных сорбционно-емкостных сенсоров для измерения влажности технологических газов микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, Москва, 2003