430287
Технологические процессы и реакторы плазмохимического травления микроструктур элементов СБИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
2003, Воронеж
Электроника. Диссертация Технологические процессы и реакторы плазмохимического травления микроструктур элементов СБИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01, Воронеж, 2003