430291
Физико-химические и технологические основы получения полиимидных структур для микроэлектронных устройств, устройств микромеханики и микросенсорики : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01, 05.27.06 Жуков, Андрей Александрович
2003, Москва
Электроника. Диссертация Физико-химические и технологические основы получения полиимидных структур для микроэлектронных устройств, устройств микромеханики и микросенсорики : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01, 05.27.06, Москва, 2003