430294 Молекулярно-лучевая эпитаксия гетероэпитаксиальных структур SiGe/Si : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 Русаков, Демьян Николаевич 2003, Москва

Электроника. Диссертация Молекулярно-лучевая эпитаксия гетероэпитаксиальных структур SiGe/Si : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, Москва, 2003