430366
Разработка и анализ зондовых микромеханических устройств : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01 Рехвиашвили, Серго Шотович
2004, Нальчик
Электроника. Диссертация Разработка и анализ зондовых микромеханических устройств : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01, Нальчик, 2004