430381
Оптимизация процесса МОС-гидридной эпитаксии слоев GaAs, AlxGa1-xAs и InxGa1-xAs на основе математической модели : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
2004, Москва
Электроника. Диссертация Оптимизация процесса МОС-гидридной эпитаксии слоев GaAs, AlxGa1-xAs и InxGa1-xAs на основе математической модели : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, Москва, 2004