Электроника. Диссертация Исследование закономерностей формирования и модификации волнообразного нанорельефа на кремнии и в тонких пленках на основе кристаллического и аморфного кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01, Ярославль, 2004