430394
Исследования и разработка технологии изготовления PIN-фотодиодов на основе кремния с применением ионной имплантации : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
2004, Москва
Электроника. Диссертация Исследования и разработка технологии изготовления PIN-фотодиодов на основе кремния с применением ионной имплантации : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, Москва, 2004