430411 Волнообразные наноструктуры на поверхности кремния, инициируемые ионной бомбардировкой : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 Кибалов, Дмитрий Станиславович 2004, Ярославль

Электроника. Диссертация Волнообразные наноструктуры на поверхности кремния, инициируемые ионной бомбардировкой : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01, Ярославль, 2004