430434
Разработка технологии пластин полупроводниковых соединений AIIIBV современной точности обработки : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
2004, Москва
Электроника. Диссертация Разработка технологии пластин полупроводниковых соединений AIIIBV современной точности обработки : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06, Москва, 2004