430449
Рекристаллизация тонких поликремниевых пленок плоским электронным лучом : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
2004, Таганрог
Электроника. Диссертация Рекристаллизация тонких поликремниевых пленок плоским электронным лучом : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01, Таганрог, 2004