Электроника. Диссертация Исследование и разработка лазерной технологии модификации электрофизических характеристик системы кремний-диоксид кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.03 / Хуинь Конг Ту; [Место защиты: С.-Петерб. нац. исслед. ун-т информац. технологий, механики и оптики], Санкт-Петербург, 2014