Электроника. Диссертация Исследование и разработка методов формирования устройств наноэлектроники с применением технологии наноимпринт литографии : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Зайцев Алексей Александрович; [Место защиты: Нац. исслед. ун-т МИЭТ], Москва, 2014