Электроника. Диссертация Исследование и разработка процесса формирования пленок поликристаллического кремния с полусферическими зернами для конденсатора с повышенной емкостью : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Новак Андрей Викторович; [Место защиты: Нац. исслед. ун-т МИЭТ], Москва, 2014