Электроника. Диссертация Исследование латеральной однородности плазмы в реакторах микроэлектроники методами двухракурсной эмиссионной томографии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Фадеев Алексей Владимирович; [Место защиты: Физ.-технол. ин-т РАН], Москва, 2014