Электроника. Диссертация Разработка технологии гетероструктурных солнечных элементов на кристаллическом кремнии с использованием промышленных реакторов плазмохимического осаждения : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Орехов Дмитрий Львович; [Место защиты: С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ)], Санкт-Петербург, 2015