Электроника. Диссертация Ионно-плазменное получение и возможность использования слоев твердого раствора на основе (SiC)1-x(AlN)x на монокристаллическом кремнии : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Харламов Николай Александрович; [Место защиты: Нац. исслед. технол. ун-т], Москва, 2014