Электроника. Диссертация Технология осаждения пленок оксида вольфрама методом реактивного магнетронного распыления на постоянном токе : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Морозова Александра Александровна; [Место защиты: С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ)], Санкт-Петербург, 2015