Электроника. Диссертация Разработка и исследование технологических основ формирования наноструктурированных пленок ZnO методом импульсного лазерного осаждения для чувствительных элементов газовых сенсоров : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Замбург Евгений Геннадьевич; [Место защиты: Юж. федер. ун-т], Таганрог, 2015