Электроника. Диссертация Разработка и исследование чувствительных элементов датчиков давления на основе структур "кремний на сапфире" с использованием лазерных технологий : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Буй Тхань Хай; [Место защиты: Юж. федер. ун-т], Таганрог, 2016