759329
Совершенствование технологии создания устройств микро- и наноэлектроники с использованием неравновесной СВЧ плазмы низкого давления
2015,
Электроника. Диссертация Совершенствование технологии создания устройств микро- и наноэлектроники с использованием неравновесной СВЧ плазмы низкого давления, , 2015