762147 Диагностика приборных структур на основе кремниевых и углеродных слоев методом спектроскопии комбинационного рассеяния света Левицкий Владимир Сергеевич 2016,

Электроника. Диссертация Диагностика приборных структур на основе кремниевых и углеродных слоев методом спектроскопии комбинационного рассеяния света, , 2016