764566 Формирование, структурные и оптические свойства тонкопленочных гетерогенных систем с массивами нановключений германия в диэлектрике Грачев Денис Александрович 2017,

Электроника. Диссертация Формирование, структурные и оптические свойства тонкопленочных гетерогенных систем с массивами нановключений германия в диэлектрике, , 2017