764566
Формирование, структурные и оптические свойства тонкопленочных гетерогенных систем с массивами нановключений германия в диэлектрике Грачев Денис Александрович
2017,
Электроника. Диссертация Формирование, структурные и оптические свойства тонкопленочных гетерогенных систем с массивами нановключений германия в диэлектрике, , 2017