764620 Исследование методами растровой электронной микроскопии пленок и гетероструктур на основе нитрида галлия Вергелес Павел Сергеевич 2017,

Электроника. Диссертация Исследование методами растровой электронной микроскопии пленок и гетероструктур на основе нитрида галлия, , 2017