766795 Ионно-плазменные модули для получения наноструктурированных углеродосодержащих покрытий Трифонов Сергей Александрович 2017,

Электроника. Диссертация Ионно-плазменные модули для получения наноструктурированных углеродосодержащих покрытий, , 2017