768590
Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемной техники космического назначения
2018, Москва
Электроника. Диссертация Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемной техники космического назначения, Москва, 2018