769272
Разработка методики проектирования интегральных микромеханических сенсоров линейных ускорений с тремя осями чувствительности
2018,
Электроника. Диссертация Разработка методики проектирования интегральных микромеханических сенсоров линейных ускорений с тремя осями чувствительности, , 2018