769561
Технологии микропрофилирования и формирования контактных систем для микроприборов на основе нитридов III группы Желаннов Андрей Валерьевич
2018, Санкт-Петербург
Электроника. Диссертация Технологии микропрофилирования и формирования контактных систем для микроприборов на основе нитридов III группы, Санкт-Петербург, 2018